半导体制造适用的特种流体

先进电子设备适用的卓越解决方案

先进半导体制造过程需要可在实现快速生产的同时尽量减少污染的材料。Opteon™（欧特昂™）特种流体具有低粘度、高溶解性、出色的温度稳定性和快速干燥特性，可使以下各种半导体制造应用发挥卓越性能：

• 精密清洁
• 蒸汽脱脂
• 热传递
• 硅蚀刻
• 高压应用
• 测试和分析

高性能、低影响

Opteon™（欧特昂™）产品可用作溶剂、表面活性剂、载体和导热液，在各种应用中都具有低全球变暖潜值 (GWP) 和零臭氧消耗潜值 (ODP)，比传统的氢氟烃 (HFC) 对环境更有益。这些产品具有卓越的化学稳定性和热稳定性，可与大多数金属、塑料和弹性体兼容。只要按照说明，所有 Opteon™（欧特昂™）产品均能保证质量、性能和可持续性，可安全使用。